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在醫(yī)療領(lǐng)域應(yīng)用的等離子體滅菌技術(shù)于20世紀(jì)80年代始于美國，Menashi等首先提出鹵素類氣體等離子體具有很強(qiáng)的殺菌作用，可用于非耐熱醫(yī)療器械的快速滅菌，低溫等離子體滅菌技術(shù)1987年獲得。
美國強(qiáng)生公司研制的Starrad 100S過氧化氫等離子體滅菌器，于1997年經(jīng)FDA批準(zhǔn)上市。現(xiàn)已在歐美、日本等發(fā)達(dá)國家醫(yī)療機(jī)構(gòu)微創(chuàng)手術(shù)中廣泛使用。
2004年開始在我國推廣宣傳，已有幾十家大型醫(yī)療單位開始使用。由此也使得等離子體低溫滅菌技術(shù)在我國醫(yī)療領(lǐng)域的使用得到廣泛的認(rèn)同。